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FFU在潔凈室中的應(yīng)用

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FFU在潔凈室中的應(yīng)用
　　FFU在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實(shí)踐證明無(wú)可擔(dān)心。當(dāng)前其改進(jìn)主要是：
　　（1）取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以內(nèi)；
　?。?）動(dòng)機(jī)采用DC/EC（電子整流電機(jī)），以耗較原交流電機(jī)節(jié)約近50%，因?yàn)樾★L(fēng)機(jī)所用小容量（功率<1P）的交流電機(jī)，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機(jī)的效率可達(dá)75%～80%；在調(diào)速控制上可每臺(tái)單獨(dú)的以過(guò)濾器降壓進(jìn)行控制以節(jié)約能耗，但目前投資回收期尚長(zhǎng)而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。
　?。?）但FFU出口靜壓不能過(guò)大，一般采用出口風(fēng)速0.38m/s，此時(shí)其靜壓一般在250Pa以內(nèi)。
　　FFU回風(fēng)系統(tǒng)與其他方式相比的優(yōu)點(diǎn)
　　優(yōu)點(diǎn)：
　?。?）靈活性大，便于改造；
　?。?）占用建筑物空間較少；
　?。?）潔凈凈室內(nèi)空氣壓力大于回風(fēng)靜壓室，排除靜壓室對(duì)污染的可能性。
　　缺點(diǎn)：
　?。?）要求回風(fēng)道全部阻力（包括多孔地板、格柵及風(fēng)道）、干表冷器阻力及末級(jí)過(guò)濾器的阻力（在初阻力時(shí)），總共應(yīng)控制在165Pa左右，以滿足運(yùn)行時(shí)*大阻力在250Pa以內(nèi)。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風(fēng)道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風(fēng)道阻力在15Pa以內(nèi)，否則就需要再增設(shè)加壓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，這就是降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點(diǎn)。
　　(2)采用DC/EC電機(jī)后，單位風(fēng)量的能耗可能比當(dāng)前一般大型離心風(fēng)機(jī)的集中系統(tǒng)為低，但已有研究指出，比采用改進(jìn)后的大型軸流風(fēng)機(jī)的回風(fēng)系統(tǒng)的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風(fēng)機(jī)的效率提高及其系統(tǒng)的阻力降低的因素。
　　(3）一般FFU系統(tǒng)由于單位風(fēng)量的能耗較大，因此的冷負(fù)荷亦相應(yīng)增加。
　　具體情況下的評(píng)價(jià)
　　(1)FFU用于老建筑物改造成時(shí)，其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。
　　(2）潔凈度要求嚴(yán)的，末級(jí)過(guò)濾器滿布率100%時(shí)，對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的；對(duì)小系統(tǒng)有意義作具體比較。
　　(3)對(duì)潔凈度要求不甚嚴(yán)的，末級(jí)過(guò)濾器滿布率≤40%時(shí)對(duì)大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多，但對(duì)IC工廠而言，F(xiàn)FU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對(duì)過(guò)濾器滿布率≤40%時(shí)，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。

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