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無(wú)塵室-防止微粒子污染的四項(xiàng)基本原則

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　　無(wú)塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過(guò)濾器即可容易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

無(wú)塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列四項(xiàng)基本原則：

一、不攜入

在無(wú)塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

1）作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；

2）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

3）通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無(wú)塵室。

4）機(jī)器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。

5）無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式**帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

二、不發(fā)生

在控制*大污染源--人在無(wú)塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制**大污染源制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到*小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

3）采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；

4）機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

三、不儲(chǔ)備

若能徹底實(shí)施不攜入技術(shù)，無(wú)塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在廣大的無(wú)塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此不儲(chǔ)備技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。

在*高等級(jí)的無(wú)塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過(guò)濾空氣完全交換所計(jì)算出來(lái)的數(shù)值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有**的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻，因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話(huà)，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除而長(zhǎng)時(shí)間漂流在無(wú)塵室內(nèi)，而一部分會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。

動(dòng)線(xiàn)規(guī)劃要點(diǎn)：要檢討分析人車(chē)路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)的流程等，盡量縮短動(dòng)線(xiàn)，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動(dòng)線(xiàn)勿集中；無(wú)塵車(chē)間四周，宜設(shè)緩沖區(qū)；制造裝置的出入，不要對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。

無(wú)塵車(chē)間不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選用、布置要點(diǎn)：對(duì)于300000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過(guò)濾器代替高效過(guò)濾器；空氣潔凈度100級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾器；中效或高效空氣過(guò)濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。

有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣，如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時(shí)，則不能循環(huán)使用：固體物料的粉碎、稱(chēng)重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機(jī)溶媒精制的原料藥精制、干燥工序；放射**品生產(chǎn)區(qū)；病原體操作區(qū)；工藝過(guò)程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序；固體口服制劑的顆料、成品、干燥設(shè)備所使用的凈化空氣。

所謂空氣過(guò)濾器(Air Filter)是指空氣過(guò)濾裝置?？諝膺^(guò)濾器主要包括有初效過(guò)濾器，中效過(guò)濾器，高效過(guò)濾器及亞高效等型號(hào)。各種型號(hào)有不同的標(biāo)準(zhǔn)和使用效能，同時(shí)它的使用也是相當(dāng)?shù)膹V泛的，同時(shí)它的應(yīng)用也是非常的廣泛的，包括在無(wú)塵車(chē)間，無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室，無(wú)塵工廠(chǎng)，無(wú)塵廠(chǎng)房，潔凈車(chē)間都需要安裝空氣過(guò)濾器。

而無(wú)塵車(chē)間：是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。因此不論外在之空氣條件是如何的變化的，室內(nèi)都能夠俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無(wú)塵車(chē)間*主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵車(chē)間潔凈度:以單位體積空氣中某粒徑粒子的數(shù)量多少來(lái)區(qū)別的潔凈程度.千級(jí)無(wú)塵車(chē)間,主要過(guò)濾大于或等于0.5UM塵埃粒子,其送風(fēng)量按換氣數(shù)一般在50次以上。

無(wú)塵車(chē)間安裝空氣過(guò)濾器的主要作用在于它必須要做到整個(gè)車(chē)間無(wú)塵，那么對(duì)于空氣質(zhì)量的要求自然也很好，無(wú)塵空間安裝空氣過(guò)濾器有著不同的規(guī)格，通常來(lái)說(shuō)，對(duì)于300000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過(guò)濾器代替高效過(guò)濾器;空氣潔凈度100級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣凈化處理，那么就需要采用初、中、高效過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾器;而中效或者高效空氣過(guò)濾器宜則需要小于或等于額定風(fēng)量選用;同時(shí)中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段;高效或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。

而無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室安裝空氣過(guò)濾器，無(wú)塵工廠(chǎng)安裝空氣過(guò)濾器，無(wú)塵廠(chǎng)房安裝空氣過(guò)濾器，潔凈車(chē)間安裝空氣過(guò)濾器的作用都和無(wú)塵車(chē)間安裝空氣過(guò)濾器是一樣的，另外對(duì)于空氣過(guò)濾器的選擇標(biāo)準(zhǔn)也幾乎是一樣的。

而鼎盛凈化科技公司是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售、服務(wù)及承接凈化工程的設(shè)計(jì)、施工安裝、維護(hù)一體化的專(zhuān)業(yè)較大規(guī)模的潔凈企業(yè)，同時(shí)售后服務(wù)有保障，另外它還提供專(zhuān)業(yè)的無(wú)塵車(chē)間，潔凈室，凈化車(chē)間，無(wú)塵室，潔凈棚，無(wú)塵廠(chǎng)房，東莞中央空調(diào)工程，東莞廠(chǎng)房裝修等室內(nèi)凈化工程設(shè)計(jì)與安裝服務(wù)。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無(wú)塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

四、排除/除去

在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無(wú)塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無(wú)法說(shuō)是**理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無(wú)塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內(nèi)之對(duì)策。

上一篇：無(wú)塵車(chē)間空氣過(guò)濾器的使用要**什么？
下一篇：GMP車(chē)間的設(shè)計(jì)要求參考

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